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GK-150

GK-150

全自动曝光机

全自动设计，满足一次可放置4个输入料盒和4个输出料盒
双工位设计，满足曝光和对准上片同时进行
工作台配备自适应调平功能
能够精准控制掩膜板与芯片的贴合压力
自动快捷地完成芯片的粗对准：芯片摆正、定位芯片圆心、定位芯片切边
自动对准定位晶圆片
多模板匹配，解决同种产品但色差较大的问题
曝光前检测对准精度，确保可靠性
配备一个异常片临时存放料盒，保证设备运行连贯性

机型说明

矽电全新推出的全自动曝光机，可按照二极管芯片厂家工艺设计需求进行定制，满足4、5、6英寸晶圆在同一机台上进行一、二、三次光刻的工艺处理需求。批量自动化设计，配备输入、输出料盒各四个；双工位并行满足曝光和对准上片同步进行。

应用领域

晶圆片接触式曝光

产品特点

全自动芯片曝光

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