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GK-120

GK-120

全自动曝光机

全自动设计，满足一次可放置4个输入料盒和4个输出料盒；
双工位转盘设计，满足曝光和对准上片同时进行
具备自适应调平功能
通过气压控制掩膜板与芯片的贴合压力
自动快捷地定位芯片圆心、定位芯片切边

机型说明

该机型可按照二极管芯片厂家需求定制，满足4、5、6英寸Wafer的一次曝光

应用领域

晶圆片接触式曝光

产品特点

全自动芯片曝光

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