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AS-20

AS-20

全自动晶圆光学镜检机

支持Wafer或Frame自动上料方式，兼容4~8英寸
高分辨率的光学系统，良好的成像效果
多道光组合检测，不同缺陷自定义打光方式
用户自定义缺陷类型及创建元件库，缺陷项分类标记，灵活编排检测算法
结合AI算法检测模型，应对复杂缺陷场景
具备自动扩膜及切割道检测功能
搜寻及排列功能，适应扩膜产生的不规则变形
分布式计算系统+高速数据传输系统，为检测提供超高算力
自动生成缺陷分布MAP图，可与探针台的MAPPING数据自动合档
SPC功能，基于数据库查询的图表统计和结果追溯等

应用领域

常见的分立器件类晶圆的表面缺陷检测

主要功能

自动上传存储数据库

自动切换光学倍率

自动条码调用检测程序

自动对焦调光

自动读取晶圆ID

全自动多料盒上下片

自动晶圆扫描对准

针痕检测功能

多工位自动打点

MAP图实时显示

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