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分选机
GK-120
全自动曝光机
该机型可按照二极管芯片厂家需求定制,满足4、5、6英寸Wafer的一次曝光
GK-120
全自动曝光机
该机型可按照二极管芯片厂家需求定制,满足4、5、6英寸Wafer的一次曝光
GK-150
全自动曝光机
该机型可按照二极管芯片厂家需求定制,满足4、5、6英寸Wafer的一、二、三次曝光
GK-150
全自动曝光机
矽电全新推出的全自动曝光机,可按照二极管芯片厂家工艺设计需求进行定制,满足4、5、6英寸晶圆在同一机台上进行一、二、三次光刻的工艺处理需求。批量自动化设计,配备输入、输出料盒各四个;双工位并行满足曝光和对准上片同步 进行。
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