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PT-9200
PT-9200
8英寸全自动探针台
高精度定位平台(定位精度±2微米)
可满足2000根探针测试,用于多芯同时探测,提升产能效益
高精密光学模组,结合最新图像软件算法,实现探针自动精确定位,安全可靠全自动测试
独特机械手吸附技术,解决Taiko/超薄/翘曲等晶圆片无损自动上下料传输
CHUCK模块化设计,选配、更换更加便捷
搭载大尺寸的磨针台,适应不同的磨针方式
应用领域
适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件类晶圆测试
主要功能
CHUCK自动清理功能
晶圆ID自动读取
自动打点
晶圆厚度自动检测功能
自动晶圆对准功能
自动对针功能
针痕检测功能
自动清针功能
MAP图实时显示、存储产品
测试应用
WAT测试
射频测试
高低温测试
大电流测试
坏点重测
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高压测试
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适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件类晶圆测试
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8英寸半自动探针台
适用于4~8英寸集成电路及分立器件芯片的自动测试