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PT-9200

PT-9200

8英寸全自动探针台

高精度定位平台(定位精度±2微米）
可满足2000根探针测试，用于多芯同时探测,提升产能效益
高精密光学模组，结合最新图像软件算法，实现探针自动精确定位，安全可靠全自动测试
独特机械手吸附技术，解决Taiko/超薄/翘曲等晶圆片无损自动上下料传输
CHUCK模块化设计，选配、更换更加便捷
搭载大尺寸的磨针台，适应不同的磨针方式

应用领域

适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件类晶圆测试

主要功能

CHUCK自动清理功能

晶圆ID自动读取

自动打点

晶圆厚度自动检测功能

自动晶圆对准功能

自动对针功能

针痕检测功能

自动清针功能

MAP图实时显示、存储产品

测试应用

WAT测试

射频测试

高低温测试

大电流测试

坏点重测

WAT测试

高压测试

高温测试

特殊应用

无Notch预对准

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