高低温探针台、高低温半自动探针台、高低温全自动探针台

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高低温定制系列

高低温定制系列

高低温全自动探针台

全新一代高精度定位平台（定位精度±2微米）
可满足64site测试，大大提升产能效益
高精密光学模组，结合最新图像软件算法，实现探针自动精确定位
适用于Taiko\超薄\翘曲等晶圆无损传输测试
CHUCK模块化设计，选配、更换更加便捷
搭载大尺寸的磨针台，适应不同的磨针方式
搭载高低温测试系统，温度范围：-55℃～+200℃

应用领域

适用于8英寸、12英寸的集成电路、功率器件类晶圆的高低温测试

主要功能

晶圆厚度自动检测功能

自动晶圆对准功能

自动对针功能

针痕检测功能

自动清针功能

MAP图实时显示、存储产品

CHUCK自动清理功能

晶圆ID自动读取

自动打点

测试应用

高低温测试

高压测试

大电流测试

坏点重测

WAT测试

射频测试

特殊应用

遮光处理

无Notch预对准

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