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矽电半导体实现晶圆“体检”设备国产化

矽电半导体实现晶圆“体检”设备国产化

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发布时间:
2022/09/09 18:35
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【摘要】:

芯片是智能制造的大脑。如何确保其正常运行?产前体检至关重要。半导体检测设备作为芯片生产过程中的重要工具,就像芯片的体检医生。在芯片生产阶段,只有成功通过的产品型号才能逐一检查产品的技术参数。

矽电半导体设备(深圳)作为中国最早的研发,最大的探针制造商,多年来一直坚持自主创新,致力于促进高精度半导体设备本地化,现已开发了一系列符合国际前沿技术标准的自动探针,许多核心技术填补了国内相关领域的技术空白,已发展成为与国际银行间竞争的企业。

总经理王胜利介绍,自2003年成立以来,以晶圆探针台为重点,率先突破晶圆半自动探针台项目研发的关键技术环节,实现产业化。

进入研发部门,研发人员正忙于各种芯片技术指标和调试检测设备。王胜利告诉记者:我们的核心技术是探针技术,这只是一种方法。晶片单晶粒的尺寸很小,接触面的测量直径一般只有50微米,相当于头发截面的三分之二,必须在显微镜下完成。一方面,我们应该通过检测设备将信号输送到电路中,另一方面,我们应该连接信号。每个测量触点都需要准确对接探针。”

王胜利告诉记者,探针台负责晶圆的输送和定位,使晶圆上的晶粒依次接触探针。它可以将参数特性不符合要求的芯片记录下来,便于在后道工序之前及时将其剔除,这样就有效地提高了后道生产的成品率,降低了器件的制造成本。探针台属于半导体设备领域的先进设备,是集成电路行业发展的核心专用设备,行业技术障碍高,设备精度、可靠性、视觉智能多系统拟合、工艺要求非常严格,是工艺、技术、生产工艺的综合测试。

促进探针设备本地化替代一直是一个发展目标。虽然这个行业的竞争对手并不多,但很多人都不愿意这样做,因为这太难了。王胜利承认,自2002年以来,我和另外三个合作伙伴开始了晶圆探针的研发。在进入研发后,我发现有太多的细节和技术。我们几乎无法坚持很多次。

为了保证技术的不断更新,公司的资源将优先考虑技术研发,我们的年研发投资约占总收入的9%。王胜利表示,经过多年的发展,逐渐掌握了高精度快速响应行程精密步进技术、定位精度协调控制、探针卡自动针技术、晶圆自动上下技术、基于智能算法的机器视觉、电磁兼容性设计技术等探针设备研发核心技术。同时,芯片检测可根据温度控制、高压、磁场、辐射等不同环境需求提供一站式解决方案。截至2019年底,公司已获得国内外授权专利11项,软件作权36项。

经过不断的开拓和创新,矽电半导体已发展成为国内少数具有各种规格的探头台、晶粒和晶圆表面检查设备、晶粒拾取和选择系统的企业之一。王胜利说,随着晶圆从6英寸到8英寸再到12英寸的发展,探针台也经历了从手动、半自动到全自动的发展。目前,不同集成电路领域的探针台产品在半导体领域相继推出;在LED在该领域,自主研发的倒装芯片自动探针台、正装芯片自动探针台和自动抽样探针台组成了光电半导体系列探针台产品。同时,应及时推出市场需求VCSEL芯片探针系统及VCSEL模组系统、垂直红外光电芯片机及全自动晶圆镜检机等产品,的产品线。(经济日报-中国经济网记者 杨阳腾)

矽电半导体设备(深圳)股份有限公司成立于2003年,由海归博士和国内半导体专家团队联合创办,以技术为导向,专注于半导体检测设备研发、生产、销售的高新技术企业。主营业务是以探针台为主的集精密机械、现代光学、计算机控制、图像DSP识别技术、自动控制技术等高科技技术于一体的光机电一体化设备研究。18年的技术累积,掌握着探针测试多项核心关键技术,填补了半导体和集成电路产业链探针测试技术工业化应用的空白。矽电的探针测试系列产品已应用于境内领先的晶圆制造、封装测试、光电器件、功率器件及传感器生产厂商。 2021年,矽电获得国家级专精特新重点“小巨人”企业认定。

矽电,致力于提供让自己、让客户信得过的产品及服务!

 

 

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