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聊聊探针台的那些事

聊聊探针台的那些事

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发布时间:
2022/08/26 15:08
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【摘要】:

探针台用途:探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数提供一个平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查等用途。

探针台的使用方式:

 1.将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。 

2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

3.显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

4.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针前进少许,再使用Z轴旋钮进行下针,最后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。

5.确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的设备开始。

常见故障的排除 当您使用本仪器时,可能会碰到一些问题,下表列举了常见的故障及解决方法。

症状可能原因

移动样品后画面变模糊 显微镜不垂直 调垂直显微镜 样品台不水平 调水平样品台 样品不平 显微镜视场亮度不足,边缘切割或看不到像 转换器不在定位位置上 把转换器转到定位位置上 管镜转盘不在定位位置上 把管镜转盘转到定位位置上 照明的亮度不足 调节光源亮度或者把孔径光栏孔调大 没有装目镜 装上目镜 没有装物镜 装上物镜 显微镜像质变差 目镜脏物镜脏管镜脏 对目镜,物镜,管镜脏的地方进行清洁 孔径光栏关的太大或者太小 调节孔径光栏 没有调好焦 调节调焦手轮 样本上盖有盖玻片等介质 移开盖玻片等介质 图像一边清晰,一边模糊 样本倾斜放置 放平样本,或者调节样品台水平 物镜没有旋紧 旋紧物镜 眼睛容易疲劳 双目头的瞳距和操作者不匹配 调节双目头的瞳距 目镜视度调节不正确 调节目镜视度 照明亮度不合适 调节光源亮度或者孔径光栏孔

维护和保养 

1. 避免碰撞:在安装,操作CS探针台时应避免碰撞,机体放置需平坦,不可倾斜或横倒,避免机器发生故障或异常异音。

2.仪器的运输:仪器运输时,请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱,避免碰到探针台的任何运动部件。

3.仪器的存放使用完后需要注意保持清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免灰尘将机械精密部件,光学部件,电学接触面污染,导致仪器精度降低。探针台机体清洁时,避免直接泼水清理,以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器,以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时,可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物,注意使用安全。停电或长期不用、外出旅行时,请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员必须严格按要**作,以保证数据的准确和仪器的正常使用。

4.工作环境 探针台应放在稳定可靠的台面上,最好是具有防震装置的工作台上,避免在高温,潮湿激烈震动,阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用最佳温度范围为5℃~40℃,最佳湿度是40%到85%,空气中之湿度若低于30%以下,可靠湿度控制器予以控制,使维持50%~60%之范围。使用时门窗尽可能关闭,使室内达到除湿效果。使用电源:220±10%,50~60Hz

矽电半导体设备(深圳)股份有限公司成立于2003年,由海归博士和国内半导体专家团队联合创办,以技术为导向,专注于半导体检测设备研发、生产、销售的高新技术企业。主营业务是以探针台为主的集精密机械、现代光学、计算机控制、图像DSP识别技术、自动控制技术等高科技技术于一体的光机电一体化设备研究。18年的技术累积,掌握着探针测试多项核心关键技术,填补了半导体和集成电路产业链探针测试技术工业化应用的空白。矽电的探针测试系列产品已应用于境内领先的晶圆制造、封装测试、光电器件、功率器件及传感器生产厂商。    2021年,矽电获得国家级专精特新重点“小巨人”企业认定。

     矽电,致力于提供让自己、让客户信得过的产品及服务!

 

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