-对准位与测试位重合,保证综合精度长期稳定;
-兼容wafer及frame铁环传输测试;
-高刚性Z工作台;
-双机械臂传输自动上下料系统;
-支持各类型测试系统Hard Docking/Direct Docking/Cable测试;
-密光学模组及先进的图像算法实现自动对准、自动对针;
-支持Wafer ID读取(正面/背面可选);
-配置磨针台自动磨针,毛刷清针可选;
-具有多Bin分类显示Mapping功能,方便分析圆片参数分布状况
-支持8" /12"Wafer预对准以及2-8-1,2-12-1铁环自动对准
-支持8"/ 12"Wafer以及2-8-1, 2-12-1铁环传输;
-支持12” FOUP/12”OPEN/8”OPEN, 13槽12”Metal Frame Cassette,25槽8"Metal Frame Cassette 多种规格料盒以及对应产品;
-支持工厂天车自动化对接;
-中文式界面,操作使用直观易理解;