高精度定位平台
可满足2000根探针测试，可用于多芯同时探测,提升产能效益
精密光学模组及先进的图像算法实现自动对准、自动对针
CHUCK模块化设计，选配、更换更加便捷
搭载大尺寸的磨针台，适应不同的磨针方式
低漏电chuck：Chuck leakage＜1pA@10V下(可选）
配置自动打点器，打点动作时间可调，支持测试后自动打点
支持13和25槽片盒传片（SEMI标准）